技术性能

• Uptime≥98%;
• 洗净率≥98%(小微粒去除率>98%,中颗微粒：0 ea, 大颗微粒：0 ea);
• 接触角<15度(初始条件：接触角<60度);
• 玻璃基板尺寸：2000mm(L)x1000mm(W) (短边进),厚度2mm~5mm;
• 每小时65片(55秒/片),玻璃间距500mm, 传送速度最大4m/min。

技术参数

设备尺寸：10410mm*3100mm*2200mm (含自动化)