技术性能

• 基板大小：1200mm*2400mm*2.2~3.2mm；
• 节拍：35s；
• 工艺速度：40mm/s;
• 碎片率<0.1%；
• 无效边区域<5mm;
• 片间/片内均匀度<5%。

技术参数

设备尺寸：43700mm*11480mm*5200mm（含自动化）