技术性能

• 有效幅宽：600mm；
• 节拍：60s
• 速率稳定性：≤±3%；
• 坩埚大小：2200cc;
• 上片数目：1pcs；
• 保养频率：10天;
• 片间/片内均匀度<5%。

技术参数

主设备尺寸：25000mm*1200mm*2000mm