技术性能

• 设备产能>19200片/小时(每篮232片半片)(800MW@210半片、600MW@182半片)；
• 碎片率<0.3‰;
• 反射率>40%,单片抛光均匀性<1%,片间抛光均匀性<1%;
• 台 阶 宽 度 大 于 1 5 um ;
• 设备Uptime:≥97%;
• 设备臭 氧 水 浓 度 > 40 ppm ;
• 设备产品良率>99.9%。

技术参数

清洗流程： O3-Clean→SDE→O3-Clean→DHF→DRY