技术性能

• 产能：16000片/小时(每篮116片整片，6篮/槽)；
• 碎片率<0.3‰（ 硅片厚度≥110um）
• 设备Uptime:≥95%;
• 设备产品良率>99.9%。

技术参数

清洗流程： Alkline→PreCln→HF→Post1→DHF→DRY