技术性能

• 稼动率≥92%
• 生产节拍：60s
• 靶材利用率：≥30%(wt%) / ≥80%(wt%)
• 破片率：0.1%
• 片内片内/片间均匀度：＜5%@EE=10mm
• 玻璃基板尺寸：1200mm(L)*600mm(W) 厚度：1.6mm-3.2mm

技术参数

设备尺寸：23000mm*5100mm*3500mm (含自动化)