技术性能

• 产能：16000片/小时(每篮116片整片，6篮/槽)；
• 碎片率<0.3‰ （ 硅片厚度≥110um）;
• 反射率>40%,单片抛光均匀性<1%,片间抛光均匀性<1%;
• 台 阶 宽 度 大 于 15 um ;
• 设备Uptime:≥95%;
• 设备产品良率>99.9%。

技术参数

清洗流程： PreCln→Polish→Post1（ →Mirco TEX →Post1）→DHF→DRY